طلاء رشاش عندما تقصف الجزيئات عالية الطاقة السطح الصلب ، يمكن للجسيمات الموجودة على السطح الصلب أن تكتسب الطاقة وتهرب من السطح لتترسب على الركيزة.بدأ استخدام ظاهرة الاخرق في تقنية الطلاء في عام 1870 ، واستخدمت بشكل تدريجي في الإنتاج الصناعي بعد عام 1930 بسبب زيادة معدل الترسب.يتم عرض معدات الرش ثنائية القطب شائعة الاستخدام في الشكل 3 [رسم تخطيطي لقطبين رشاش طلاء مفرغ].عادة ما يتم تحويل المادة المراد ترسيبها إلى لوحة - هدف ، يتم تثبيتها على الكاثود.يتم وضع الركيزة على الأنود المواجه للسطح المستهدف ، على بعد بضعة سنتيمترات من الهدف.بعد ضخ النظام إلى فراغ عالي ، يتم ملؤه بغاز 10 ~ 1 باسكال (عادة الأرجون) ، ويتم تطبيق جهد يصل إلى عدة آلاف من الفولت بين القطب السالب والأنود ، وينتج تفريغ توهج بين القطبين. .الأيونات الموجبة الناتجة عن التفريغ تطير إلى القطب السالب تحت تأثير مجال كهربائي وتتصادم مع الذرات الموجودة على السطح المستهدف.تسمى الذرات المستهدفة التي تهرب من سطح الهدف بسبب الاصطدام بالذرات المتقطعة ، وتتراوح طاقتها من 1 إلى عشرات الإلكترون فولت.تترسب الذرات المتناثرة على سطح الركيزة لتشكيل فيلم.على عكس طلاء التبخر ، لا يقتصر طلاء الرش بالرش على نقطة انصهار مادة الفيلم ، ويمكن أن يفسد المواد المقاومة للحرارة مثل W ، Ta ، C ، Mo ، WC ، TiC ، إلخ. الطريقة ، أي الغاز التفاعلي (O ، N ، HS ، CH ، إلخ) هو
يضاف إلى غاز Ar ، ويتفاعل الغاز التفاعلي وأيوناته مع ذرة الهدف أو الذرة المتناثرة لتكوين مركب (مثل أكسيد ، نيتروجين) مركبات ، إلخ) وترسب على الركيزة.يمكن استخدام طريقة رش عالية التردد لترسيب الفيلم العازل.يتم تثبيت الركيزة على القطب المؤرض ، ويتم تثبيت هدف العزل على القطب المعاكس.يتم تأريض أحد طرفي مصدر الطاقة عالي التردد ، ويتم توصيل طرف واحد بقطب كهربائي مجهز بهدف عازل من خلال شبكة مطابقة ومكثف مانع للتيار المستمر.بعد تشغيل مصدر الطاقة عالي التردد ، يغير الجهد العالي التردد قطبية باستمرار.ضربت الإلكترونات والأيونات الموجبة في البلازما هدف العزل خلال دورة النصف الموجبة ودورة النصف السالبة للجهد ، على التوالي.نظرًا لأن حركة الإلكترون أعلى من حركة الأيونات الموجبة ، فإن سطح الهدف العازل يكون سالبًا.عندما يتم الوصول إلى التوازن الديناميكي ، يكون الهدف عند احتمال انحياز سلبي ، بحيث تستمر الأيونات الموجبة المتناثرة على الهدف.يمكن أن يؤدي استخدام رش المغنطرون إلى زيادة معدل الترسيب بما يقرب من مرتبة من حيث الحجم مقارنةً بالرش غير المغنطروني.
الوقت ما بعد: 31 يوليو - 2021